凝聚制备出颗粒样品粒度分布计量图像显微镜
蒸发一凝聚法制备纳米粉料
气相法制备纳米粉体是利用气体或通过各种手段将物质变成
气态，使之发生物理变化或化学反应，通过急冷后凝聚，获得纳
米粉料的方法。蒸发一凝聚法是应用最广泛、工艺最完善的气相
法之一，等离子体蒸发一凝聚法可制备出高纯度、粒度分布窄和
粒度可控的纳米粉料
利用等离子体焰流的高温，使阳极上部坩埚内的原料熔融、
蒸发，并且部分原料原子又变成离子态或激发态，蒸汽遇到周围
的气体被冷却或发生化学反应，通过急冷使产物气态分子凝聚并
抑制晶粒的长大，从而获得纳米粒子，纳米粒子粘附于旋转的冷
凝器上，经过收集、气氛保护和处理，得到纳米粉料。
在此过程中，通过调节反应气体或保护气体的压力来控制原
料的蒸发量，从而控制纳米粒子的纯度和产量；通过调整冷凝器
内冷却介质的温度而产生不同的温度梯度，从而控制纳米粒子的
粒度。如制备TiN纳米粒子时，冷却介质为液氮、冰盐水和室
温水时，粒子的平均粒度分别为8rim、20nm和40rim。
由于等离子体焰流具有非常高的温度(高达3×104K)，所
以可以制备大多数金属纳米粉料，特别是高熔点金属及其化合
物；并且在焰流区存在大量高活性气态基团，通人不同的工作气
体，可制备氧化物、氮化物、碳化物及金属一非金属复合纳米粉
料。
