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微型泵,微加工技术磨损表面粗糙度计量仪




来源:yiyi
时间:2018-1-21 1:38:04

微型泵,微加工技术磨损表面粗糙度计量仪


    微米世界是一个很奇妙的世界。在这个世界里,头发丝会显得
很粗,分子会触手可及。传统意义上的微米尺度已属微观世界。而
从现代意义上讲,微米尺度仍属宏观的范畴,它所涉及的仍是物体
,尚未触及物质的结构。在微米世界里,确实存在实实在在的机械
,如微型齿轮;存在实实在在的结构,如微型梁、微梳齿、微管道
;存在实实在在的系统,如微加速度计、微陀螺、微惯性测量组合
、微马达、微型泵等。微加工技术出现以前,这样的情景难以想象
。但随着微电子加工技术的发展,所有这些都一个个变成了现实。
微米技术的发展使人们很快想到了纳米,也切实推动了纳米技术的
发展和进步。纳米领域与分子领域仅一步之遥。扫描隧道显微镜的
出现,使人们可以用机械的手段搬动原子。从此,物理和化学的界
限将不再像原来那么清晰,机械运动与化学反应的行为也将不再那
么截然不同。在不久的将来,物理的机械动作也许会代替原来的化
学反应。通过机械作用也许会创造出新的材料。
    在微米世界中,无论是机械的运动还是结构的变形或是系统的
响应,主要都是通过力来作用的。在各种力学环境中,有些是主动
利用的力(如驱动力),有些是被动涉及的力(如阻力);有些是和宏
观环境完全相同的,有些是微观环境特有的。这些力之间关系错综
复杂,重要程度也不尽相同,如果弄不清其中的主导力,许多实际
中重要的现象是无法科学解释的,如微机电系统中的动能、动力学
、静摩擦、摩擦、黏性、磨损等,巨大的微机电系统技术应用潜力
是很难开发出来的,更谈不上其优化的利用。而分析好、认识好并
利用好各种力,就会对微米系统的工作效果产生巨大影响。因此,
系统地介绍微机电系统的力学是十分必要的。

 

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