有机集成芯片微电路和微机械焊接工业显微镜
发展微机电系统的途径和技术条件的不同，才出现了上述不同
的定义形式。
那么该如何定义MEMS呢?我们认为定义MEMS应从尺寸和功能两
个方面出发，而不应限定于任何制作工艺或材料，因为MEMS的工艺
技术是不断发展和完善的，制作MEMS的材料也是多样的。
因此我们认为微机电系统的定义和内涵是：采用微机械和微电
子加工方法，把微电路和微机械按功能要求有机集成在芯片上，关
键尺寸通常在亚微米至亚毫米范围内，集微机械、微执行器以及信
号处理和控制、接口、通信和电源等于一体的可批量制作的自动化
和智能化的微系统。它的基本特征是微型化、多样性和特有的微电
子技术。
随着社会的进步和人们需求的日益增长，尤其是战争的需求，
许多方面都在期待着微机电系统的出现。迫使人们用新的观点，综
合应用不同学科中的先进技术，为需求目标服务。
微机电系统由于尺度小、集成度高、功能灵活而强大，使人类
的操作、加工能力延伸到微米级空间，也使其成为21世纪较富于挑
战性的科学技术领域之一。这种技术跨越将深刻影响国防科学技术
和国民经济的发展，它将使未来战争改变面貌。同时作为新兴的高
技术产业，微机电系统已经成为各国政府竞相争夺的技术制高点。
