微机电加工、测量系统特点-检测显微镜
微机电系统的特点
多年来，人们一直致力于使产品变得更小巧、更灵活、更智能
，努力实现“机电一体化”。从系统组成来看，微机电系统与传统
的机电系统一样，都具有信息感知、信息处理和控制、执行等几大
组成部分。微机电系统也像普通的机电系统一样，可以感受运动、
力、光、声、热、磁等自然界信号，并将这些信号转换成电子系统
可以识别的电信号，经过信号处理后(包括模拟／数字信号间的变
换)再通过执行器对外部世界发生作用。但是，微机电系统不是传
统机电系统在尺寸上的简单缩小，它在设计思想、力学环境、运动
原理、材料特性、加工、测量和控制等各方面都有了很大甚至是质
的变化。
我们平常使用的机电系统产品，一般需要人直接参与操作，而
微机电系统能在人或人手指达不到的地方工作，人往往不能直接操
纵它，只能依靠微机电系统的智能化工作。因此，微机电系统与传
统机电系统的控制方法和工作方式是完全不同的。传统机电系统对
外界环境的变化不敏感，而微机电系统就不同了，它对外界环境的
变化如温度、湿度、灰尘等都十分敏感，一粒大小为10μm的灰尘
就可以使微齿轮卡死，这是在传统机电系统中无法想象的。另外，
传统机电系统直接与外部环境建立联系，而微机电系统由于本身很
小，一般需要通过光、电、磁、声等形式与外界进行通信。因此，
微机电系统由于体积小、重量轻、功耗低、设计思想独特、JJn-r_
方法特殊而具有不同于传统机电系统的特殊性。
