圆形元件切割成矩形截面分析金相显微镜

　　切割
　　切割实际上是两个方向上的重复锯切。通常我们希望购买栅格形状
的材料然后把它切成许多小块元件。对一块大晶圆进行上盘、抛光、加
工、清洗、镀膜等操作，要比对许多小元件进行这些操作容易得多，切
割是最后一步。

　　为了把圆形元件切割成矩形．元件可以是面居中、角居中或任一尺
寸的边缘居中．仔细规划可以最大程度提高产量。阐燕褥

　　为了使小元件切口宽度引起的成品损失最小化，可使用窄刀片。窄
的刀片实际上更灵活、更脆弱。恰当的刀片对准、支撑、平衡、冷却液
流、给进速度是非常关键的。方形片可能会引起偏心切割。

　　随着刀片的磨损，其外边缘会变得圆滑，这会造成切割时槽底部不
是方形。为了从被切元件上获得一个平直角边缘，刀片必须完全切至工
件以下并进入支撑块，而且应该定期修整。

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