不同的科研工业实验细节微观层析孔壁微观特征
中等分辨率微观层析照相术
要实现lOμm的分辨率(中分辨率)，可采用锥形光束系统，这
种系统以传统的微焦点X射线管为光源。这种装置在INSA(法国里昂
)的CNDRI实验室已经配备。用这种系统，在光源和探测器之间可通
过调整样品的位置来改变放大倍数。分辨率的极限值取决于微焦点
尺寸，它决定了目标图像的清晰度。这个尺寸有一定的最小限定值
，因为假如光源尺寸太小，样品面上的光流量会变得太低以至于分
析系统记录一张图像所需的时问太长。在这种实验设备装置中，可
用多色光源以保证合适的记录时间。但这样又可能会由于光束硬化
而引入人为的干涉，且还不能实现吸收系数p的定量重构。
现在，在很多不同的科研和工业实验室都已具备这种标准的仪
器设备装置，同时还有许多商用的便携式高分辨率(可小至69m)仪
器可供选择。
例如，部件的平均密度是宏观参数，问题是：在连续生产中指定部
件密度的可重现性是怎样的?相关性能的分散度变化多大是可以接
受的?给定部件在平均密度一定时，其性能也是分散的，因为部件
的内部存在局部的密度分散，这可归类于介观水平上的变化。进一
步的结构细节属微观水平，形状因二F、孔壁和结点的尺寸和微观
特征上的变化都必须根据可接受的微观变化范围进行统计量化和评
估。
