层面粗糙度印刷质量样品分析图像显微镜厂家
印刷晶体管构造时关键的工艺集成问题
此时，我们需要考虑生产印刷晶体管时丁艺整合巾的各种问题。这些
问题反过来又会影响各层所选用的材料。
层面粗糙度 印刷晶体管是一种多层的复杂设备。因此，每一单独
层面的粗糙度是关键的参数。下层的粗糙度会对上层的粗糙度、覆盖率和
针孔等因匝习素产生直接的影响。因此，粗糙度是一个关键的工艺参数。
考虑到经典的流体问题，尽管总体粗糙度也非常重要，但高频粗糙度（即
尖峰）通常是最关键的参数。在顶栅型结构中，半导体的粗糙度尤为重要
，而在底栅型结构中，栅极的粗糙度则是最重要的参数。
针孑L——在场效应晶体管中，栅极电介质通常被认为是关键性部件。
从丁艺整合和生产的角度来看，这一点对于印刷晶体管来说也是毋庸置疑
的。栅极电介质层不能出现气孑L是非常重要的，这是㈥为气孔会导致设备
短路，功能丧失。反过来说，针孑L同粗糙度和润湿特性等密切相关，因此
，层与层之间的优化在这里就显得尤为重要。
阶梯覆盖率 从前文的工艺流程图可以很明显地看出，印刷晶体管
本身就有大量的横断面拓扑结构。因此，阶梯覆盖率在过程优化中是非常
重要的参数。考虑到大粒径颗粒覆盖（通常粒径为几十纳米或者更大）以
及其后相对较薄的片层，片层间的完全覆盖就显得尤为重要；在多层印刷
的过程中，印刷所用的液体必须能够包覆片层的垂直面。这对材料的流体
黏度，蒸发率和润湿性等提出了要求。
