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XQ15-GI 激光平面干涉仪 技术参数: 1、第一标准平面(A面),工作直径D1=φ146mm,平面的面形偏差小于0.03μm(λ/20) 2、第二标准平面(B面),工作直径D2=φ140mm,平面的面形偏差小于0.03μm(λ/20) 3、准直系统:工作直径φ146mm,孔径F/2.8,焦距f=400mm 4、测微目镜:焦距f=16.7mm; 5、视场角:2W=40?;放大倍数β=15X 6、成像物镜:D=7,F=16 7、光源规格:ZN18(He-Ne) 8、干涉室尺:φ480*380*285mm |